Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Syntheses of Organometallic Compounds for Cu CVD

구리박막용 CVD를 위한 유기금속화합물 제조에 관한 연구

  • 황순택 (한국과학기술연구원 화공연구부) ;
  • 조영상 (한국과학기술연구원 화공연구부) ;
  • 최형수 (한국과학기술연구원 화공연구부)
  • Published : 1994.05.01
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Abstract

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