Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1994.05a
- /
- Pages.130-130
- /
- 1994
Structural studies on SiGe/Si grown by MBE using DCXRD and TEM
MBE에 의해 성장된 SiGe/Si의 DCXRD와 TEM을 이용한 구조분석 연구
-
Kim, Sang-Gi
;
- Nam, San ;
-
Cho, Gyeong-Ik
;
- Lee, Seung-Chang ;
- Baek, Jong-Tae ;
- Kim, Gyeong-Su ;
- Bae, In-Ho
-
김상기
(한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 남산 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
-
조경익
(한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 이승창 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 백종태 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 김경수 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 배인호 (영남대학교 물리학과)
- Published : 1994.05.01
Abstract
Keywords