Structural studies on SiGe/Si grown by MBE using DCXRD and TEM

MBE에 의해 성장된 SiGe/Si의 DCXRD와 TEM을 이용한 구조분석 연구

  • 김상기 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 남산 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 조경익 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이승창 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 백종태 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김경수 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 배인호 (영남대학교 물리학과)
  • Published : 1994.05.01