한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

256M DRAM 급 이상의 Capacitor 유전체용 PLT 박막의 제조 및 특성평가

Preparation and Characterization of PLT Thin Films for ULSI DRAM Capacitor Dielectric

  • 이승석 (한국과학기술원 무기재료공학과) ;
  • 김호기 (한국과학기술원 무기재료공학과)
  • 발행 : 1994.05.01
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