한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

MOCVD법에 의한 $Ta_{2}O_{5}$ 박막의 계면물성

Interfacial Propeties of Thin $Ta_{2}O_{5}$ Films by MOCVD

  • 발행 : 1994.05.01
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