펄스레이저 증착시 $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$ 타깃의 표면입자방출기구

Ejection Mechanism of the Surface Particles from the $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$ Target during Pulsed Laser Deposition

  • 서정대 (한국전자통신연구소, 기초기술연구부) ;
  • 성건용 (한국전자통신연구소, 기초기술연구부)
  • 발행 : 1994.05.01