한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 1994년도 제7회 학술발표회 및 한·일 CVD 심포지움 논문개요집
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- Pages.160-161
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- 1994
PREPARATION OF CERAMIC THIN FILMS BY PLASMA-ENHANCED MOCVD
- Hirao, Takashi (Central Research Laboratory, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.)
- 발행 : 1994.06.01