한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

ICB 방법에 의해 제작된 tin oxide(SnO2) 박막의 특성 연구

Characteristics of Tin Oxide(SnO2) Thin Film Deposited by the Ionized Cluster Beam(ICB)

  • 최원국 (한국과학기술원 세라믹스 연구부) ;
  • 송석균 (한국과학기술원 세라믹스 연구부) ;
  • 백홍구 (연세대학교 금속공학과 연구부)
  • 발행 : 1994.06.01
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