Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

ION PUMP 및 CONTROLLER의 제작과 그 특성

  • 손영호 (포스콘 기술연구소 진공장비연구실) ;
  • 김용희 (포스콘 기술연구소 진공장비연구실) ;
  • 윤상조 (포스콘 기술연구소 진공장비연구실) ;
  • 김말식 (포스콘 기술연구소 진공장비연구실) ;
  • 현호정 (포스콘 기 술연구소 진공장비연구실) ;
  • 이재경 (포스콘 기술연구소 진공장비연구실) ;
  • 황도원 (포스콘 기술연구소 진공장비연구실)
  • Published : 1994.06.01
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Abstract

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