Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1994.02a
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- Pages.136-136
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- 1994
$Si_3N_4$ 로 ppattern된 GaAs 기판위에 Ultrahigh Vacuum Chemical Vappor Depposition법에 의한 GaAs와 InGaAs의 선택 에피택시 성장
Abstract
Keywords