X선회절을 이용한 $Si/SiO_2$ 및 Si/SiO_2$/poly-Si의 응력측정

• 임규홍 (충남대학교 재료공학과) ;
• 김도진 (충남대학교 재료공학과) ;
• 김상기 (한국전자통신연구소) ;
• 안근영 (한국전자통신연구소) ;
• 박경호 (한국전자통신연구소) ;
• 남기수 (한국전자통신연구소) ;
• 조경익 (한국전자통신연구소)

• 발행 : 1994.02.01

• PDF