Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1994.02a
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- Pages.128-128
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- 1994
Development of ICB Equibment and the Prepparation of Cu Film on Si Substrate for High Quality Laser Mirror
ICB 증착 장비 개발 및 이 장비를 이용한 Cu 박막 제작
Abstract
Keywords