한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

초고집적회로의 금속연결을 위한 구리박막의 유기금속화학증착법

  • 박상규 (포항공과대학교 화학공학과 재료공정연구실, 산업과학기술연구소) ;
  • 김재민 (포항공과대학교 화학공학과 재료공정연구실, 산업과학기술연구소) ;
  • 남갑진 (포항공과대학교 화학공학과 재료공정연구실, 산업과학기술연구소)
  • 발행 : 1994.02.01
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