Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

이온빔을 이용한 TiN 박막 합성 및 내마모특성에 관한 연구

  • 윤주선 (성균관 대학교 금속공학과) ;
  • 한전건 (성균관 대학교 금속공학과) ;
  • 한승희 (한국 과학 기술 연구원 특성분석 연구실)
  • Published : 1994.02.01
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Abstract

초정밀 프레스 금형의 주요소재인 SKD 11 소재의 성능향상을 위한 저온표면 경화기술개발을 위해 dynamic ion beam mixing 법을 이용하여 TiN 박막합성 공정 및 내마모 특성에 관해 연구하였다.

Keywords