쌍결정 엑스선 회절을 이용한 GaAs 기판위의 AlGaAs 층에 대한 로킹커브 시뮬레이션

Rocking Curve Simulation of AlGaAs Layer on GaAs by DXRD

  • 김상기 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김형문 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 조경익 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 권오준 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김인수 (영남대학교 물리학과) ;
  • 배인호 (영남대학교 물리학과)
  • 발행 : 1993.05.01