Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Rocking Curve Simulation of AlGaAs Layer on GaAs by DXRD

쌍결정 엑스선 회절을 이용한 GaAs 기판위의 AlGaAs 층에 대한 로킹커브 시뮬레이션

  • 김상기 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김형문 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 조경익 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 권오준 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김인수 (영남대학교 물리학과) ;
  • 배인호 (영남대학교 물리학과)
  • Published : 1993.05.01
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Abstract

Keywords