한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Ion Channeling, TEM 그리고 TW를 이용한 $Ar^{+}$ 이온주입된 실리콘에서의 열처리과정 연구

A Study on Annealing Process of $Ar^{+}$ Implnanted silicon Using Ion Channeling, TEM and TW

  • 발행 : 1993.05.01
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