Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Agglomeration Mechanism of the TiSi2 Thin Film and Electrical Resistivity of sub-half micron Ti-polycide Line

TiSi2 박막의 응집기구와 sub-half micron Ti-polycide 배선의 전기저항

  • 김영욱 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 이내인 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 고종우 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 김일권 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 안성태 (삼성전자(주)반도체부문)
  • Published : 1993.05.01
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Abstract

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