Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1993.05a
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- Pages.83-84
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- 1993
Effects of Plasma Pretreatments on the Adhesion and Leakage current characteristics of CVD Tungsten
CVD 텅스텐의 부착 및 누설전류 특성에 미치는 플라즈마 전처리의 효과
Abstract
Keywords