A study on the leakage current of $Ta_{2}O_{5}$ thin film capacitor using $SnO_2$ thin film layer (II)

$SnO_2$ 박막을 이용한 $Ta_{2}O_{5}$ thin film capacitor 의 누설전류에 대한 연구(II)

  • 김진석 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 이시우 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 이문희 (수원대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1993.05.01