한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Ti-polycide gate의 gate oxide 신뢰성의 limitation 연구

The Study of Limitaion in Gate Oxide Reliability for Ti-polycide Gate

  • 이내인 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 김영욱 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 고종우 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 김일권 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 안성태 (삼성전자(주)반도체부문)
  • 발행 : 1993.05.01
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