무전해 Ni 도금법에 의한 Contact Hole 충진에 관한 연구

A Study on the Contact Hole Filling by Electroless Ni Plating

  • 우찬희 (한양대학교 공과대학 금속공학과) ;
  • 우용하 (한양대학교 공과대학 금속공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 공과대학 금속공학과) ;
  • 이원해 (한양대학교 공과대학 금속공학과)
  • 발행 : 1993.05.01