Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effect of Film Properties of LPCVD Polycrystalline Silicon on the Electrical Characteristics of Thin Film Transistors

LPCVD 다결정 실리콘 막 성질이 박막트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향

  • 하승호 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 이진민 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 박승희 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 김영호 (수원대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1993.11.01
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