전처리 조건 변화에 따른 다이아몬드 박막의 특성 변화

Effect of Pretreatment Condition on the Characteristics of Diamond Thin Films

  • 최지환 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 박정일 (국립공업기술원 무기화학과) ;
  • 박광자 (국립공업기술원 무기화학과) ;
  • 장감용 (쌍용 중앙연구소)
  • 발행 : 1993.11.01