Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A TEM Study of Preferred Orientation of ZnO Thin Film by RF magnetron sputtering

RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 ZnO 박막의 배향성에 관한 TEM연구

  • 김정태 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • Published : 1993.11.01
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Abstract

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