한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

RF magnetron sputtering법에 의해 층착된 $BaTiO_3$ 박막의 in situ 결정화 양상 및 특성

In sifu crystallization behavior and characteristics of $BaTiO_3$ thin films by RF magnetron sputtering

  • 안재민 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 1993.11.01
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