RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

Preparation and Electrical Property of $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ Thin films by RF magnetron sputtering

  • 발행 : 1993.11.01