한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

ECR-PECVD법으로 증착된 $Al_{2}O_3$ 절연 박막의 특성에 관한 연구

A Study on the dielectric $Al_{2}O_3$ thin films prepared by ECR-PECVD

  • 이재균 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 전병혁 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • 발행 : 1993.11.01
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