Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the dielectric $Al_{2}O_3$ thin films prepared by ECR-PECVD

ECR-PECVD법으로 증착된 $Al_{2}O_3$ 절연 박막의 특성에 관한 연구

  • 이재균 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 전병혁 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • Published : 1993.11.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords