Co-sputtering으로 제조된 PZT 다층막 구조의 강유전체 특성에 관한 연구

A Study on the Characteristic of Co-sputter deposited PZT Multilayer Ferroelectric Thin Film

  • 주재현 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 길덕신 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 주승기 (서울대학교 금속공학과)
  • 발행 : 1993.11.01