Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1993.11a
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- Pages.106-107
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- 1993
A Study on the Characteristic of Co-sputter deposited PZT Multilayer Ferroelectric Thin Film
Co-sputtering으로 제조된 PZT 다층막 구조의 강유전체 특성에 관한 연구
Abstract
Keywords