한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Focused Ion Beam-assisted TEM 시편제작방법을 이용한 Submicron Contact의 불량분석

Failure Analysis of Submicron Contacts using Focused Ion Beam-assisted TEM Sample Preparation Technique

  • 오영민 (현대전자(주) 반도체연구소) ;
  • 김호정 (현대전자(주) 반도체연구소) ;
  • 김정태 (현대전자(주) 반도체연구소)
  • 발행 : 1993.11.01
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