Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Failure Analysis of Submicron Contacts using Focused Ion Beam-assisted TEM Sample Preparation Technique

Focused Ion Beam-assisted TEM 시편제작방법을 이용한 Submicron Contact의 불량분석

  • 오영민 (현대전자(주) 반도체연구소) ;
  • 김호정 (현대전자(주) 반도체연구소) ;
  • 김정태 (현대전자(주) 반도체연구소)
  • Published : 1993.11.01
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