한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Si-MBE로 중착시킨 다결정 SiGe의 $SiO_2$ 위에서의 성장거동및 미세구조

The Growth and Microstructure of Polycrystalline SiGe Alloys on $SiO_2$ by Si-MBE

  • 김홍승 (한국과학기술원 전자재료과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 전자재료과) ;
  • 이승창 (한국전자통신연구소 반도체단 단위공정연구실) ;
  • 강상원 (한국전자통신연구소 반도체단 단위공정연구실)
  • 발행 : 1993.11.01
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