한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

스퍼터 증착한 CoCrTa/Cr 박막의 열처리 효과

Heat treatment Effects of Sputtered CoCrTa/Cr Thin Films

  • 권세한 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이종학 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 박성찬 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 안병태 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 임호빈 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • 발행 : 1993.11.01
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