Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Plasma Enhanced Chemical Vappor Depposition을 이용한 TiO2 박막의 증착 및 특성 연구

  • 이원규 (한국과학기술원 화학공학과) ;
  • 우성일 (한국과학기술원 화학공학과)
  • Published : 1993.02.01
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