Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1993.02a
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- Pages.84-86
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- 1993
A Study on the ppropperties and Fabrication of InSb Thin Film
InSb 박막의 제작과 특성에 관한 연구
Abstract
전자빔증착기를 이용하여 적외선영역에서 직접천이형 에너지갭을 갖는 III-V족 2원화합물반도체인 InSb박막을 제작하여 전기-자기적 및 광학적 특성을 조사하였다. 증착된 박막의 X-선회절법으로 분석한 결과, 열처리온도 5
Keywords