Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1993.02a
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Pages.46-48
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1993

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

A Study on the Growth of Eppitaxial CoSi$_2$Layer by Multitarget Bias Co-Spputtering Depposition Method

Multitarget Bias Co-Spputtering증착법에 의한 정합 CoSi$_2$층의 성장에 관한 연구

박상욱 (연세대학교 금속공학과 정련 및 박막재료 연구실) ;
백홍구 (연세대학교 금속공학과 정련 및 박막재료 연구실)

Published : 1993.02.01

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Abstract

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