증착공정을 이용한 $AI_2O_3$ 복합분리막의 제조 및 특성

Fabrication and Characterization of $AI_2O_3$ Composite Membrane by Depositon Processes

세라믹 분리막은 유기질 막에 비하여 열적, 기계적 및 화학적으로 안정하기 때문에 기존의 유기질 막을 사용하기 어려운 작업 조건 하에서도 응용의 잠재성을 가지고 있다. 본 실험은 disk형태의 다공성 $Al_2O_3$ 담체위에 CVD 법과 Evaporation Oxidation 법에 의해 $Al_2O_3$를 코팅하여 세라믹 분리막을 제조하였다. CVD법에 의한 제조는 Al-isopropoxide를 350$\circ$C에서 담체위에 증착시켜 제조하였으며, Evaporation-Oxidation 법에 의한 제조는 Al을 담체위에 evaporation 시킨 후 dry oxidation 시켜서 제조하였다.