대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1993년도 하계학술대회 논문집 B
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- Pages.1271-1273
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- 1993
Laser CVD법에 의한 평탄화 층간 절연막 형성에 관한 연구
A Study on Planarized Formation of Inter-Level Dielectric Films by Laser CVD Method
- 이계신 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 박근영 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 이한신 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 홍성훈 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 허윤종 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 성영권 (고려대학교 공과대학 전기공학과)
- Lee, K.S. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Park, G.Y. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Lee, H.S. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Houng, S.H. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Huh, Y.J. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Sung, Y.K. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.)
- 발행 : 1993.07.18
초록
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