대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1993년도 하계학술대회 논문집 B
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- Pages.1106-1109
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- 1993
급속 열처리에 의한 PZT 강유전 박막의 제작
Fabrication of PZT ferroelectric thin films by rapid thermal annealing
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백동수
(연세대학교 전기공학과) ;
- 김현권 (연세대학교 전기공학과) ;
- 최형욱 (연세대학교 전기공학과) ;
- 김준한 (연세대학교 전기공학과) ;
- 박창엽 (연세대학교 전기공학과) ;
- 신현용 (플로리다 주립대학교 전기공학과)
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Paik, Dong-Soo
(Yonsei University) ;
- Kim, Hyun-Gwon (Yonsei University) ;
- Choi, Hyung-Wook (Yonsei University) ;
- Kim, Jun-Han (Yonsei University) ;
- Park, Chang-Yub (Yonsei University) ;
- Shin, Hyun-Yong (Florida State University)
- 발행 : 1993.07.18
초록
Ferroelectric thin films of PZT with differnt Zr/Ti ratio were prepared by sol-gel processing and annealed by rapid-thermal-annealing at
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