Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1992.05a
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Pages.62-62
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1992

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Effict of pgosphorus during formation of Ta-silicide by RTA

RTA 에 의한 Ta-silicide 형성시 불순물 인이 미치는 영향

김동준 (한양대학교 금속공학과) ;
강대술 (한양대학교 금속공학과) ;
박종완 (한양대학교 금속공학과)

Published : 1992.05.01

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Abstract

Keywords