Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

텅스텐 식각반응의 표면 열전달해석을 통한 개구부 매몰층 형성에 관한 연구

  • 안태혁 (삼성전자 반도체연구소) ;
  • 백수현 (한양대학교 재료공학과)
  • Published : 1992.05.01
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