RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 방향성을 지닌 $SrTiO_3$ 박막의 제조

  • 남승희 (한국과학기술원 무기재료공학과) ;
  • 이원재 (한국과학기술원 무기재료공학과) ;
  • 김호기 (한국과학기술원 무기재료공학과)
  • Published : 1992.05.01