저압화학증착법에 의해 제조된 PZT박막의 특성

Characterization of PZT Thin Film by LP MOCVD

  • 김용범 (충남대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 윤순길 (충남대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 김종오 (충남대학교 공과대학 재료공학과)
  • 발행 : 1992.05.01