Dielectric properties of $Ta_{2}O_{5}$ thin film copacitor using $SnO_2$ thin film layer

$SnO_2$ 박막의 이용한 $Ta_{2}O_{5}$ 박막 커패시터의 유전특성에 관한 연구

  • 김진석 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 이문희 (수원대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1992.05.01