Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

THE COMPOSITIONAL AND STRUCTURAL ANALYSIS OF ALUMINUM OXIDE FILMS DEPOSITED BY PECVD

PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석

  • 김용천 (한국 과학기술원 , 전자재료공학과) ;
  • 이원종 (한국 과학기술원 , 전자재료공학과) ;
  • 천성순 (한국 과학기술원 , 전자재료공학과)
  • Published : 1992.05.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords