한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석

THE COMPOSITIONAL AND STRUCTURAL ANALYSIS OF ALUMINUM OXIDE FILMS DEPOSITED BY PECVD

  • 김용천 (한국 과학기술원 , 전자재료공학과) ;
  • 이원종 (한국 과학기술원 , 전자재료공학과) ;
  • 천성순 (한국 과학기술원 , 전자재료공학과)
  • 발행 : 1992.05.01
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