Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1992.05b
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- Pages.159-160
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- 1992
Initial growth of $TiSi_2$ on atomically clean Si substrates.
초청정한 실리콘 기판상에서 Titanium silicide 의 초기성장
Abstract
Keywords