한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

실리콘 산호막 위에 적층된 다결정실리콘층의 미시구조에 대한 TEM 분석

Microstructural Analysis of polycrystalline Silicon on $SiO_2$ Using TEM

  • 백문철 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석연구실) ;
  • 남산 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석연구실) ;
  • 권오준 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석연구실) ;
  • 송윤호 (한국전자통신연구소 반도체연구단 고집적소자연구실) ;
  • 백종태 (한국전자통신연구소 반도체연구단 고집적소자연구실) ;
  • 남기수 (한국전자통신연구소 반도체연구단 고집적소자연구실)
  • 발행 : 1992.05.01
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