한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

이온 빔 접속에 의한 W 박막증착

Tungsten Then Film Deposition Assisted by Focused Ion Beam

  • 김호정 (현대전자(주)반도체 연구소) ;
  • 구정회 (현대전자(주)반도체 연구소) ;
  • 김정태 (현대전자(주)반도체 연구소) ;
  • 최인훈 (고려대하교 재료공학과)
  • 발행 : 1992.05.01
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